제품
외부 모따기기
외부 모따기 기계는 웨이퍼 재료에 대한 정확한 가장자리 베벨을 제공하여 매끄럽고 경사적 인 가장자리를 생성하면서 마이크로 크랙과 날카로운 모서리를 제거합니다.
기능
애플리케이션
그만큼외부 모따기기웨이퍼 재료에 대한 정확한 가장자리 베벨을 제공하여 매끄럽고 경사적 인 가장자리를 생성하면서 마이크로 크랙과 날카로운 모서리를 제거합니다. 실리콘, 사파이어, SIC 및 GAA를 포함한 150-200mm (6-8 ") 웨이퍼와 호환되는이 특수 장비는 반도체 제조의 우수한 가장자리 품질을 보장합니다.
WEG200-2P-FA 외부 모따기기
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모델 번호 |
WEG200-2P-FA |
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모따기 방법 |
다이아몬드 결합 폴리싱 그라인딩 휠을 사용하여 컷 웨이퍼를 갈고 닦으십시오. |
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베어링 테이블의 메인 샤프트 |
숫자 |
1 |
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속도 범위 (RPM) |
60-1000 |
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연삭 휠 샤프트 |
숫자 |
2 |
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속도 범위 (RPM) |
1000-40000 |
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웨이퍼 크기 |
4 ', 6 인치', 8 인치 ' |
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처리 정도 |
직경 내성 |
± 10um |
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진폭 (A1, A2) 편차 |
30UM보다 작거나 동일합니다 |
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결정의 둥근 성 |
± 10um |
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사전 |
± 0.1도 |
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노치 깊이 정확도 |
± 5UM |
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두께 측정의 반복성 정확도 |
± 2UM |
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장비 구조 |
이중 워크 스테이션 |
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인기 탭: 외부 모따기기, 중국 외부 모따기 기계 제조업체, 공급 업체, 공장
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